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全(quan)自動(dong)槽(cao)式清(qing)洗機(ji)的特點(dian)與用(yong)途(tu)
全自動槽式清洗機的特點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機可以用於對晶圓表麵,背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物去除,實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水,結合噴淋、溢流、快速衝洗等清洗方式,配合先...
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全自(zi)動槽式清洗(xi)機的(de)特(te)點與用途
全自動槽式清洗機的特點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機可以用於對晶圓表麵,背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物去除,實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水,結合噴淋、溢流、快速衝洗等清洗方式,配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與(yu)用途
全自動槽式清洗機的特點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機可以用於對晶圓表麵,背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物去除,實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水,結合噴淋、溢流、快速衝洗等清洗方式,配合先...
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