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晶圓單(dan)片(pian)式(shi)清洗機(ji)
單片式清洗機是由幾個清洗腔體組成,再通過機械手將每一片晶圓送至各個腔體中進行單獨的噴淋式清洗,清洗效果較好,避免了交叉汙染和前批次汙染後批次,具有極高的工藝環境控製能力與微粒去除能力,有效解決晶圓之間交叉汙染的問題。 可定製2/4/6/8/12/16腔室,單腔室處理速度可達到35片/小時,根據客戶需求定製適用於8寸/12寸矽片清洗,內... MORE +
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助(zhu)焊劑(ji)清洗(xi)設備(bei)
全自動(dong)槽式助焊(han)劑清(qing)洗設備
廣(guang)泛用於半導體先(xian)進封裝(zhuang)領(ling)域的(de)助焊劑清洗工(gong)藝
設備具有(you)二(er)流體,超(兆)聲波(bo)等(deng)清洗工藝以(yi)及熱(re)風(feng),IPA幹(gan)燥(選(xuan)項)幹(gan)燥功能,可(ke)對應(ying)多種(zhong)不(bu)同(tong)的工藝需求(qiu)
工藝(yi)簡(jian)介(jie):對wafer植球(qiu)後(hou)經過reflow後進(jin)行清洗。
工藝流(liu)程(cheng):印刷錫(xi)膏-reflow... MORE +
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