產品特點
1.兼容12inch與8inch wafer;
2.全自動運行,foupin-foupout;
3.dry in- dry out ;
4.程式可自由選擇鍍Cu or 鍍Cu/Sn or 鍍Au,自由切換;
5.掃碼或RFID感應自動選擇程式,無需操作員選擇;
6.不鏽鋼SUS316骨架,包覆NPP,結實且
耐腐蝕 ;
7.工控機+PLC控製,係統穩定;
8.Windows操作係統,簡單方便;
9.支持EAP功能;
10.兼容半導體通用SECS/GEM 技術協議;
11.具備自動添加功能。
2.全自動運行,foupin-foupout;
3.dry in- dry out ;
4.程式可自由選擇鍍Cu or 鍍Cu/Sn or 鍍Au,自由切換;
5.掃碼或RFID感應自動選擇程式,無需操作員選擇;
6.不鏽鋼SUS316骨架,包覆NPP,結實且
耐腐蝕 ;
7.工控機+PLC控製,係統穩定;
8.Windows操作係統,簡單方便;
9.支持EAP功能;
10.兼容半導體通用SECS/GEM 技術協議;
11.具備自動添加功能。